X・Y軸自動制御
X軸・Y軸のモーター制御可能な高性能ステージです。
マイクロスキャニングステージにより軸移動を自動制御。
繰り返し測定に威力を発揮します。
ステージ移動量も用途に合わせて±25mm~±150mmまで選択できます。
ステージ面最大460mm×405mmで大型サンプルの測定も可能になりました。
自動3D・深度合成
自動Z軸制御ユニットと組み合わせにより、XYZ3軸自動制御が可能。
3次元画像・深度合成画像生成まで、全自動で行うことができます。
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